GRYLLS-6601差壓式質量流量計(大量程)由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路組成,采用數字信號輸入輸出,具有預熱時間短,零漂小,可靠性高等特點。
GRYLLS-5901質量流量計由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路組成,采用數字信號輸入輸出,具有預熱時間短,零漂小,可靠性高等特點。
浮子流量計采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
抗腐蝕質量流量計:采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
GRYLLS一體化多變量質量流量計,GRYLLS-62系列一體化流量計采用全參數動態補償技術,一臺儀表可代替差壓,壓力,流量,積算儀四臺儀表。
熱式氣體流量計用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
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