質量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。熱式流量開關熱導式流量開關。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。
質量流量計使用中出現故障，一般分為工藝原因造成的測量故障和流量計本身器件出現損壞而引發的故障。
1、工藝原因引發的測量故障:
常見的就是被測流體出現兩相流現象。具體到液體的測量中主要為被測液體沒有充滿流量計測量管或測量管上部集聚氣體，或有固態雜質進入測量管中卡主，引發質量流量計故障報警。
處理方法：通過排放氣體變更安裝方式等手段保證質量流量計所測流體為單向流，采取措施清除測量管內的固體雜質。
2、質量流量計本身器件出現損壞造成流量計故障：
使用中常見的是流量計接線盒進水或接線松動引發短路、信號丟失等故障。
處理方法：對此除嚴格規范現場安裝外，日常還要進行細致的巡檢維護，防止處理不及時引發傳感器線圈燒毀等更嚴重的故障發生。
3、變送器電路板損壞，常見的故障時變送器的電源板、信號處理輸出板出現損壞。
處理方法：除嚴格規范線纜信號接線外還要做好防雷接地措施，使用獨立的穩壓電源保證供電電源的可靠性，防止電源電壓大幅度波動而燒毀器件。
